DynamYX® DATUM® 超高性能空气轴承平移台

DynamYX® DATUM®  是 Newport 在先进材料、专有制造技术以及细致结构分析和设计方面不断进行投资而获得的成果。

• 加速度：3G X 轴，5G Y 轴
• 速度：1000mm/秒
• 重复精度：±25nm（长期）
• 精度：0.2Âμm（线性编码器）
• 固有频率：300 Hz