HybrYX™ G5 大型基板定位空气轴承平移台

该款 HybrYX™ 单平面 XY 混合平移台，在保留单平面空气轴承平移台优势。HybrYX G5 平移台专为高负载应用设计，具有单平面架构的各项优势。

• 适合低速度波动和动态跟随误差的扫描应用
• 单一位置 XY 架构，带有可选的 θ 和 Z-Tip-Tilt 解决方案
• 可靠，长寿命的操作适合高占空比环境
• XY 行程范围大（>1 米）
• 扫描速度可达 600mm/秒和 0.6G 加速度