| 类别 | 描述 |
|
机械转台（MRDS-180 Stage） |
平台特性
平台概要 机械转台采用了大中孔扁平的设计。能实现Rz 方向旋转。可应用于医疗、半导体检测（薄膜计量、关键尺寸检查）等领域。 |
|
气浮转台（ARDS-180 Stage） |
平台特性
平台概要 气浮转台以薄的外形提供了角度定位，速度稳定性和误差运动性能。旨在满足晶圆检查，X 射线衍射系统，光学检查和制造以及MEMS /纳米技术设备制造的要求。 |
