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单轴直线运动台

概要:

单轴直线运动台采用了紧凑扁平的设计,能实现水平向直线运动。可应用于激光切割、半导体、平板显示、自动化等领域。

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平台特性
 高动态响应、非接触直线电机驱动
 光学式线性编码器反馈
 重载滚柱导轨设计

 良好的定位精度和动态性能


技术参数


定制信息
单轴直线运动台可选项:在Single-Axis Linear Stage 产品序列里,配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括行程、编码器、高精度标定等选项。

行程选项

-100 102mm 行程位移平台,配置直线电机和限位
-200 204mm 行程位移平台,配置直线电机和限位
-300 305mm 行程位移平台,配置直线电机和限位

编码器选项
-E1 增量式模拟光学式线性编码器,1Vpp
-E2 增量式数字光学式线性编码器,RS422
-E3 绝对式光学式线性编码器,BISS

高精度标定选项

-PLUS 高精标定:产品生产结束,出厂前对平台进行干涉仪标定