垂向台（Lift and Z Stage）

该系列产品包含气浮重力补偿垂向台（ALGZ-60a Stage）、磁浮重力补偿垂向台（MZ-10 Stage）、重载垂向台（MTZ-25 Stage）

类别	描述
气浮重力补偿垂向台（ALGZ-60a Stage）	平台特性双重力补偿、低轮廓设计高动态响应、非接触直线电机驱动光学式线性编码器反馈防蠕变交叉滚柱导轨设计良好的定位精度和动态性能平台概要气浮重力补偿垂向台采用了防蠕变交叉滚柱导轨设计。能实现垂向直线运动。其中采用了气浮重力补偿技术，具有降低垂向电机的载荷，提高垂向运动性能和寿命的功能。可应用于半导体、平板显示、光纤对准、生物医药等领域。
磁浮重力补偿垂向台（MZ-10 Stage）	平台特性高动态响应、非接触直线电机驱动光学式线性编码器反馈负载大、抗偏心能力高大行程磁浮重力补偿闭环伺服设计良好的定位精度和动态性能平台概要磁浮重力补偿垂向台采用紧凑扁平的轮廓尺寸设计。垂向采用了大行程磁浮重力补偿技术，具有降低垂向电机的载荷，提高垂向运动性能和寿命的功能。可实现上下方向定位的升降。垂向可提供机械导轨和高性能气浮导轨选项。可应用于晶圆生产控制应用，例如薄膜计量等。
重载垂向台（MTZ-25 Stage）	平台特性导柱设计丝杆导向设计负载大、抗偏心能力高闭环伺服设计平台概要重载垂向台系列平台采用楔形机构的设计，具有紧凑扁平的轮廓尺寸。通过导柱和丝杠结构，使得平台具有良好的定位精度、重复定位精度和大负载能力。可应用于半导体、平板显示、光纤对准等领域。