堆叠式多轴系统（Stacked System）

该系列产品包含堆叠式XYZ Stage、堆叠式XYZT Stage（Stacked XYZT Stage）、堆叠式XYZ3T Stage（Stacked XYZ3T Stage）

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类别

描述

堆叠式XYZ Stage

平台特性

堆叠式3 轴平台，正交性设计
平面度、直线度可达微米级

X/Y 轴

内循环滚柱导轨
无线缆扰动力设计

Z 轴

垂向磁悬浮重力补偿，可实现较高的定位精度
垂向增量光栅，最高可实现5 纳米分辨率
薄型、轻量化设计
垂向最大可支持25mm 行程
最大支持转速240rpm

控制系统

ACS 8 轴驱动器，支持PEG、STO 等功能
ACS 控制器

平台概要
堆叠式XYZ 系统，采用模块化、薄尺寸、正交性设计等理念，将MZ-10Stage 标准模组集成在十字平台Cross XY Stage 模组之上，能实现X、Y 和Z轴3 自由度的直线运动。其中，MZ-10 Stage 标准模组采用了磁浮重力补偿技术，具有降低垂向电机的载荷，提高了垂向运动性能和寿命的功能。可实现上下方向定位的升降。十字平台Cross XY Stage模组采用集成式、正交性设计理念，具有紧凑扁平的轮廓尺寸。能实现水平向X/Y 轴2 自由度的直线运动。可应用于晶圆生产控制应用，例如薄膜计量、晶圆划线和晶圆激光退火等。

堆叠式XYZT Stage（Stacked XYZT Stage）

平台特性

堆叠式4 轴平台，正交性设计
平面度、直线度达微米级

X/Y 轴

内循环滚柱导轨
无线缆扰动力设计

Z 轴

垂向磁悬浮重力补偿，可实现较高的定位精度
垂向增量光栅，最高可实现5 纳米分辨率
薄型、轻量化设计
垂向最大可支持24mm 行程

Rz 轴

360 旋转，无管路缠绕，支持12’、8’晶圆真空吸附
支持最大±0.7mm 翘曲晶圆
最大支持转速240rpm

控制系统

ACS 8 轴驱动器，支持PEG、STO 等功能
ACS 控制器

平台概要
堆叠式XYZ 台采用模块化、薄设计、正交性设计等理念，将MZT-24-CRGStage 标准模组集成在十字平台Cross XY Stage 模组之上，能实现X、Y 和Z轴3 自由度的直线运动。其中，MZT-24-CRG Stage 采用旋转运动平台和垂向运动的在轴向进行耦合的设计，具有紧凑扁平的轮廓尺寸，能实现Rz/Z 轴2 自由度的无限制旋转。十字平台Cross XY Stage 模组采用集成式、正交性设计理念，具有紧凑扁平的轮廓尺寸。能实现水平向X/Y 轴2 自由度的直线运动。可应用于晶圆生产控制应用，例如薄膜计量、晶圆划线和晶圆激光退火等。

堆叠式XYZ3T Stage（Stacked XYZ3T Stage）

平台特性

堆叠式7 轴平台，正交性设计
平面度、直线度达微米级

X/Y 轴

内循环滚柱导轨
无线缆扰动力设计

Z3T 轴

垂向磁悬浮重力补偿，可实现较高的定位精度
柔性导向设计
垂向增量光栅，最高可实现5 纳米分辨率
薄型、轻量化设计
最大支持转速240rpm
超过±0.2°的摇摆和倾斜修正

控制系统

ACS 8 轴驱动器，支持PEG、STO 等功能
ACS 控制器

平台概要
堆叠式XYZ3T 台采用模块化、薄设计、正交性设计等的理念，将MZ3T标准模组集成在XYY 堆叠式水平运动模组之上，能实现X、Y、Rx、Ry、Rz和Z 轴6 自由度的运动。其中MZ3T 标准模组采用紧凑设计技术，集成了Z、Rx、Ry 和Rz 轴，具有拥有良好的定位精度、平面度、直线度、刚性和重复性精度的功能。垂向采用了磁浮重力补偿技术，降低了垂向音圈电机的载荷，提高了垂向运动性能和寿命。XYY 堆叠式水平运动模组采用集成式、正交性设计理念，具有紧凑扁平的轮廓尺寸。能实现水平向X/Y 轴2自由度的直线运动。可应用于晶圆生产控制应用，例如薄膜计量、晶圆划线和晶圆激光退火等。适用于大型面板/基体上的倒晶封装。