高精度振镜扫描光电流测试系统为微纳器件（尤其是片上光电器件）的光电响应测试提供了强大的测试平台:
基本配置参数：
|
电学测试盒 |
包括：测试盒，测试座，测试线，28针。 |
|
光电测试配置 |
前置放大器SR570，锁相放大器SR830 |
|
样品台 |
四维度。XYZ三轴平移，行程13 mm，分辨率1 um。 θ旋转，粗调360°微调±7°，最小读数0.2°，分辨率0.01° |
|
振镜扫描 |
扫描精度<20nm, 扫描范围>100um |
|
显微镜 |
20X，50X，100X |
|
激光器 |
532nm，光纤输出，Thorlabs激光控制器，可任意添加其他波段激光 |
|
环境 |
暗室屏蔽 |
|
软件 |
基于Labview编写，全自动扫描，实时结果显示。可根据客户需求升级软件功能。 |
|
其他选配功能 |
低温（77K），源表I-V测量（mapping），光谱测试 |
应用领域：
微纳器件的光电响应测试，包括：石墨烯，二维材料，微纳半导体材料，有机材料等制备的光电器件表征。
