PI 六轴小型六足位移台
高精度连续旋转直驱转台
纳米级定位精度垂直运动Z向平台
堆叠式多轴系统（Stacked System）
复合式二维平台（Planar Platform）
磁浮多轴运动台（Maglev Multi-axis Stage）
多轴微动台（MZ3T Stage）
磁悬浮垂向与旋转台
二维精密转台（Gimbal Stage）
平面式运动台（Planar-Series XY Stage）
垂向台（Lift and Z Stage）
单轴直线运动台
一维转台（Rz Stage）
直线电机
带有无刷电机的 IDL-BL 中行程工业线性平移台
XM 线性电机平移台
One-XY 中行程集成 XY 线性平移台
IDL-V 工业级电动垂直位移台
IDL 长行程工业级线性平移台
SinguLYS™ Single Axis Air Bearing Stages
HybrYX™ G5 大型基板定位空气轴承平移台
HybrYX™ XY 混合空气轴承 XY 平移台
DynamYX® RS 分划板定位空气轴承平移台
DynamYX® 300 晶片定位空气轴承平移台
DynamYX® GT 空气轴承平移台
DynamYX® DATUM® 超高性能空气轴承平移台
SW系列晶圆对准/键合/解键合设备
智能直驱传输系统（IDTS）
光学测量方案
半导体设备方案
