半导体微电子系统及部件

  • 堆叠式多轴系统(Stacked System)

  • 复合式二维平台(Planar Platform)

  • 磁浮多轴运动台(Maglev Multi-axis Stage)

  • 多轴微动台(MZ3T Stage)

  • 磁悬浮垂向与旋转台

  • 二维精密转台(Gimbal Stage)

  • 平面式运动台(Planar-Series XY Stage)

  • 交叉十字XY 台(Cross-Series XY Stage)

  • 垂向台(Lift and Z Stage)

  • 单轴直线运动台

  • 一维转台(Rz Stage)

  • 运动模组

  • 直线电机

  • 带有无刷电机的 IDL-BL 中行程工业线性平移台

  • XM 线性电机平移台

  • One-XY 中行程集成 XY 线性平移台

  • IDL-V 工业级电动垂直位移台

  • IDL 长行程工业级线性平移台

  • SinguLYS™ Single Axis Air Bearing Stages

  • HybrYX™ G5 大型基板定位空气轴承平移台

  • HybrYX™ XY 混合空气轴承 XY 平移台

  • DynamYX® RS 分划板定位空气轴承平移台

  • DynamYX® 300 晶片定位空气轴承平移台

  • DynamYX® GT 空气轴承平移台

  • DynamYX® DATUM® 超高性能空气轴承平移台

  • SW系列晶圆对准/键合/解键合设备

  • 智能直驱传输系统(IDTS)

  • 光学测量方案

  • 半导体设备方案