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本文的目的是确定最常见的红外透射材料,指出关键性能及其典型的制造和光学涂层选项。本文提供的信息仅供参考。

为光学系统选择的光学材料取决于应用、所需的系统性能和系统执行的环境;因此,必须考虑材料的光学、机械、热学和热光学性能。

在地球大气层中使用光学系统时,有三个主要波段可供使用。它们是短波红外(SWIR)或近红外(NIR),覆盖范围为0.75至3μm;中波(MW)红外,覆盖范围为3至5μm;以及覆盖8至14μm的长波红外。由于地球大气中的各种分子的吸收,这些带之间的区域无法使用。然而,如果系统处于高空或太空中,这些介于频带之间的频带是可用的。

本文中添加的材料包括硫族化物玻璃;尽管已有多年的历史,但由于其独特的材料特性,它们在光学行业已经成熟。本文中添加的其他材料包括蓝宝石、铝、铜、化学镀镍金属和铜镍合金。

随着先进技术、自动化和使用等离子体增强化学气相沉积、电子束溅射离子辅助沉积和电阻源的工艺的可用性,红外材料的光学涂层已经随着时间的推移而发展。随着新型硫族化物材料的发展,以及对从可见光(VIS)到长波红外(LWIR)的多光谱波段透镜系统需求的增加,商业和国防应用对新涂层设计和工艺的需求也在增加。本文中提到了当前和新的红外材料涂层示例,以及它们的环境耐久性测试。

氟化钡(BaF2

传输范围:0.25至9.5μm之间的透射率在90%以上

折射率:1.466@1.7μm,1.455@4μm

dn/dT:−15.2×10^−6/K

密度:4.89 g/cm3

硬度(Knoop):82 kg/mm2

断裂模量:3800 psi

热膨胀系数:18.1×10−6/°C@20°C±100°C

典型应用:热成像、天文学、激光

制造的产品:透镜、非球面透镜、窗口、分束器、滤光片、楔形物和棱镜

表面光洁度:20-10级划痕抛光主要用于UV和VIS应用。红外光谱中表面质量的典型规格是近红外光谱区域的40-20划痕凹坑和MW区域的60-40划痕凹坑。

表面图形:1/10至1/4波@ 0.6328 μm的表面图形主要用于UV和VIS使用的镜片。在红外光谱中,典型的表面图范围为1/2 ~ 2波@ 0.6328 μm。

AR涂层选项:BaF2的典型可用涂层包括0.8 μm至2.5 μm、3 μm至5 μm或1 μm至5 μm的BBAR,以及3.5至5.1 μm和7.5至10.5 μm光谱区域的双频AR。

氟化钙(CaF2)

传输范围:0.13至10微米

折射率:1.428 @ 1.064 μm,1.425 @ 1.7 μm,1.4096 @ 4 μm

dn/dT:−11.0×10^−6/K

密度:3.18 g/cm3

硬度(Knoop):158 kg/mm2

断裂模量:5295 psi

热膨胀系数:18.85 × 10−6/°C

典型应用:成像、热成像、天文学、微光刻、激光

制造的产品:透镜、非球面透镜、窗口、分束器、滤光片、楔形物和棱镜

表面光洁度:20-10级划痕抛光主要用于UV和VIS应用。在红外中,典型的规格是近红外光谱区域的40-20划痕和MW光谱区域的60-40划痕。

表面图形:在紫外和可见光谱区,指定的表面图形范围为1/10 ~ 1/4波@ 0.6328 μm。在红外中,典型的表面图形范围为1/4到2波@ 0.6328 μm。

AR涂层选项:可用的涂层包括用于0.8至2.5、3至5或1至5μm的BBAR,用于MWIR和LWIR的双频AR,以及用于NIR和MWIR光谱区域的三频AR。其他选项也是可用的。

溴化铯(CsBr

传输范围:0.35至32μm的透射率在80%以上

折射率:1.668 @ 4 μm,1.663 @ 10 μm,1.629 @ 25 μm

dn/dT:+79 × 10−6/°C

密度:4.44 g/cm3

硬度(Knoop):19.5 kg/mm2

断裂模量:1218 psi

热膨胀系数:47.9 × 10−6/°C

典型应用:FTIR光谱、激光系统、CO2激光系统的透镜保护器、成像系统、分析仪器

制造的产品:窗口、透镜、激光透镜保护器、非球面透镜、楔形物和棱镜

表面光洁度:IR中表面质量的典型规格为60-40、80-50或120-80划痕

表面图形:在红外光谱中,指定的典型表面形状范围为1/10至1/40波@10.6μm

AR涂层选项:防潮AR和BBAR涂层可用于CsBr透射范围内的各种波长或波长范围

碘化铯(CsI)

传输范围:0.42至40μm的透射率在80%以上

折射率:1.743 @ 4 μm,1.739 @ 10 μm,1.708 @ 30 μm

dn/dT:−99 × 10−6/°C @ 0.6 μm

密度:4.51 g/cm3

硬度(Knoop):20 kg/mm2

断裂模量:809 psi

热膨胀系数:50 × 10−6/°C

典型应用:FTIR光谱、激光系统、CO2激光系统的透镜保护器、成像系统、分析仪器

制造的产品:窗口、透镜、激光透镜保护窗、非球面透镜、棱镜和楔形物

表面光洁度:IR中表面质量的典型规格为60-40、80-50或120-80划痕

表面图形:在红外光谱中,指定的典型表面形状范围为1/10至1/40波@10.6μm

AR涂层选项:防潮AR和BBAR涂层可用于CsI透射范围内的各种波长或波长范围

硫系玻璃

注:透射值是典型的参考值,基于厚度为6至6.4毫米的样品。


熔融二氧化硅(SiO2),红外级

传输范围:0.25 to 3.5 μm

折射率:1.4505 @ 1 μm,1. 4382 @ 2 μm

dn/dT:−

密度:2.203 g/cm3

硬度(Knoop):461 kg/mm2

断裂模量:7100 psi

热膨胀系数:0.58 × 10−6/°C @ 0 to 200 °C

典型应用:可见光和热成像、天文学、激光

制造的产品:透镜、窗口、楔形物、分束器、滤光片和棱镜

表面光洁度:近红外区域表面质量的典型规格为40-20划痕

表面图形:在可见光和近红外光谱中,典型的表面形状范围为1/10至1波@0.6328μm

AR涂层选项:典型的可用近红外涂层是0.8至2.5μm的BBAR和1.064μm的AR。其他用于紫外线、可见光和近红外应用的涂料也可供选择

砷化镓(GaAs)

传输范围:2 to 15 μm

折射率:3.307 @ 4 μm,3.278 @ 10 μm,3.251 @ 14 μm

dn/dT:148 × 10−6/K

密度:5.31 g/cm3

硬度(Knoop):750 kg/mm2

断裂模量:10436 psi

热膨胀系数:6 × 10−6/K

典型应用:热成像、CO2激光系统、前视红外

制造的产品:透镜、非球面透镜、窗口、楔形物和棱镜

表面光洁度:IR中表面质量的典型规格为2至7μm区域的40-20或60-40划痕,7至15μm区域为60-40、80-50或120-80划痕

表面图形:在红外光谱中,典型的表面形状在0.6328μm处为1/2至2波

AR涂层选项:典型的可用涂层包括3至5μm和8至12μm区域的BBAR。在2至15μm范围内也可能有其他特殊波段

锗(Ge)

传输范围:2至14μm,最高约45°C

折射率:4.025 @ 4 μm,4.003 @ 10 μm

dn/dT:396 × 10−6/K

密度:5.323 g/cm3

硬度(Knoop):780 kg/mm2

断裂模量:10500 psi

热膨胀系数:2.3 × 10−6/K @ 100 k,5.0 × 10−6/K @ 200 K,6.0 × 10−6/K @ 300 K

典型应用:热成像、FLIR、FTIR、分析仪器

制造的产品:透镜、非球面透镜、二元(衍射)透镜、窗口、分束器、滤光片、楔形物和棱镜

表面光洁度:I红外光谱中表面质量的典型规格为2至7μm光谱区域的40-20或60-40划痕,7至14μm的60-40、80-50或120-80划痕。金刚石车削表面光洁度通常为50Årms或更高

表面图形:在红外光谱中,典型的指定表面形状在0.6328μm处为1/4至2个波

AR涂层选项:典型的可用涂层包括用于3至5微米、8至14微米和3至14微米光谱区域的BBAR。其他应用专用波段也可能在2至14μm之间。锗也可以在3至5μm或8至12μm区域涂覆类金刚石碳。

氟化锂(LiF)

传输范围:0.12 to 8.5 μm

折射率:1.373 @ 2.5 μm,1.349 @ 4.0 μm

dn/dT:−12.7 × 10−6/°C @ 0.6 μm

密度:2.639 g/cm3

硬度(Knoop):102 kg/mm2

断裂模量:1566 psi

热膨胀系数:37 × 10−6/°C

典型应用:可见光和热成像、天文学、激光

制造的产品:透镜、非球面透镜、窗口、楔形物、棱镜

表面光洁度:红外表面质量的典型规格是近红外40-20划痕,微波区域60-40或80-50划痕

表面图形:在红外光谱中,典型的所需表面形状在0.6328μm处为1/2至2波

AR涂层选项:LiF可以被AR涂覆以用于IR,但由于其低折射率和已经很高的透射率,其透射率通常没有太大改善

氟化镁(MgF2)

传输范围:0.11 to 7.5 μm

折射率:1.376 @ 0.7 μm,1.370 @ 1.7 μm,1.349 @ 4.0 μm

dn/dT:+2.3 & +1.7 × 10−6/°C @ 0.4 μm

密度:3.18 g/cm3

硬度(Knoop):415 kg/mm2

断裂模量:7108 psi

热膨胀系数:13.7×10−6/°C,平行于C轴,8.48×10−6/°C,垂直于C轴

典型应用:可见光和热成像、天文学、准分子激光

制造的产品:透镜、非球面透镜、窗口、分束器、滤光片、楔形物和棱镜

表面光洁度:10-5或20-10的划痕抛光是在额外的成本下实现的,主要用于紫外应用。在可见光和近红外区域,表面质量的典型规格是在MW范围内的40-20和60-40划痕

表面图形:在紫外和可见光下,表面形状范围为1/10至1/2波@0.6328μm。在红外光谱中,典型的所需表面形状在0.6328μm处为1/2至2波

AR涂层选项:MgF2可以被AR涂覆以用于IR,但由于其低折射率和已经很高的透射率,透射率通常没有太大改善

金属镜材料(MMM)

用于金属镜的最常见金属是铝、化学镀镍和铜。

溴化钾(KBr

传输范围:0.26至23μm的透射率在80%以上

折射率:1.535 @ 4 μm,1.525 @ 10 μm,1.490 @ 20 μm

dn/dT:−40.83 × 10−6/°C

密度:2.754 g/cm3

硬度(Knoop):5.9 kg/mm2

断裂模量:159 psi

热膨胀系数:43 × 10−6/°C

典型应用:FTIR光谱、激光系统、CO2激光系统的透镜保护器、成像系统、分析仪器

制造的产品:窗口、透镜、激光透镜保护窗、非球面透镜、窗户、楔形物和棱镜

表面光洁度:IR中表面质量的典型规格为60-40、80-50或120-80划痕

表面图形:在红外光谱中,指定的典型表面形状范围为1/10至1/40波@10.6μm

AR涂层选项:防潮AR和BBAR涂层可用于KBr透射范围内的各种波长或波长范围

氯化钾(KCl)

传输范围:0.3至21μm的透射率在80%以上

折射率:1.472 @ 4 μm,1.456 @ 10 μm,1.426 @ 16 μm

dn/dT:−33.2 × 10−6/°C

密度:1.989 g/cm3

硬度(Knoop):7.2 kg/mm2

断裂模量:330 psi

热膨胀系数:36 × 10−6/°C

典型应用:FTIR光谱、激光系统、CO2激光系统的透镜保护器、成像系统、分析仪器

制造的产品:窗口、透镜、激光透镜保护窗、非球面透镜、楔形物和棱镜

表面光洁度:红外区域表面质量的典型规格为60-40、80-50或120-80划痕

表面图形:在红外光谱中,指定的典型表面形状范围为1/10至1/40波@10.6μm

AR涂层选项:防潮AR和BBAR涂层可用于KCl透射范围内的各种波长或波长范围

蓝宝石(Al2O3)

传输范围:0.17 to 5.5 μm

折射率:no = 1.768,ne = 1.760

dn/dT:+13 × 10−6/K

密度:3.98 g/cm3

硬度(Knoop):垂直于C轴的2200 kg/mm2,1900 kg/mm2,平行于C轴。

断裂模量:52 × 106 psi (358 GPa)

热膨胀系数:8.4 × 10−6/°C

典型应用:高机械冲击和振动、热成像、前视红外

制造的产品:透镜、非球面透镜、圆顶、窗口、分束器、滤光片、楔形物和棱镜

表面光洁度:红外表面质量的典型规格为1.2至3μm区域的40-20划痕,3至7μm区域为60-40划痕

表面图形:在红外光谱中,典型的所需表面形状范围为1/4至2波@0.6328μm

AR涂层选项:蓝宝石的AR涂层包括3至5μm的BBAR。0.25至5.0μm范围内可能有许多其他专用波段

硅(Si),透射级

传输范围:1.2至7.0μm(也从25μm到300μm以上)

折射率:3.4289 @ 4 μm

dn/dT:+160 × 10−6/K

密度:2.329 g/cm3

硬度(Knoop):1150 kg/mm2

断裂模量:18000 psi

热膨胀系数:2.55 × 10−6/°C @ 25 °C

典型应用:热成像,前视红外

制造的产品:透镜、非球面透镜、二元(衍射)透镜、窗口、分束器、滤光片、楔形物和棱镜

表面光洁度:IR中表面质量的典型规格为1.2至3μm区域的40-20划痕,3至7μm区域为60-40划痕。金刚石车削表面光洁度通常为50Årms或更高

表面图形:在红外光谱中,典型的所需表面形状范围为1/4至2波@0.6328μm

AR涂层选项:硅最常见的AR涂层是3至5μm的BBAR,1.2至7.0μm范围内可能有许多其他专用波长带。硅也可以是硬碳或类金刚石碳涂层,厚度为3至5μm

氯化钠(NaCl)

传输范围:0.23至12μm的透射率在80%以上

折射率:1.522 @ 4 μm,1.495 @ 10 μm

dn/dT:−36 × 10−6/°C @ 0.7 μm

密度:2.165 g/cm3

硬度(Knoop):15.2 kg/mm2

断裂模量:345 psi

热膨胀系数:44 × 10−6/°C

典型应用:傅里叶变换红外光谱、激光系统、CO2激光系统的透镜保护器、成像系统和分析仪器

制造的产品:窗口、透镜、激光透镜保护器、非球面透镜、楔形物和棱镜

表面光洁度:IR中表面质量的典型规格为60-40、80-50或120-80划痕

表面图形:在红外光谱中,指定的典型表面形状范围为1/10至1/40波@10.6μm

AR涂层选项:防潮AR和BBAR涂层可用于NaCl透射范围内的各种波长或波长范围

溴化铊(KRS-5)

传输范围:透射率在0.7至32μm范围内超过70%

折射率:2.382 @ 4 μm,2.371 @ 10 μm,2.318 @ 25 μm

dn/dT:−235 × 10−6/°C

密度:7.371 g/cm3

硬度(Knoop):40 kg/mm2

断裂模量:3772 psi

热膨胀系数:58 × 10−6/°C

典型应用:傅里叶变换红外光谱、激光系统、成像系统和分析仪器

制造的产品:窗口、透镜、激光透镜保护器、非球面透镜、棱镜和楔形物

表面光洁度:IR中表面质量的典型规格为60-40、80-50或120-80划痕

表面图形:在红外光谱中,指定的典型表面形状范围为1/10至1/40波@10.6μm

AR涂层选项:AR和BBAR涂层可用于KRS-5传输范围内的各种波长或波长范围

硒化锌(ZnSe)

传输范围:0.6 to 16 μm

折射率:2.4332 @ 4.0 μm,2.4065 @ 10.0 μm,2.4028 @ 10.6 μm

dn/dT:(avg. @ 298 to 358 K)70 × 10−6/K @ 1.15 μm,62 × 10−6/K @ 3.39 μm,61 × 10−6/K @ 10.6 μm

密度:5.27 g/cm3

硬度(Knoop):110 kg/mm2

断裂模量:7979 psi

热膨胀系数:7.1 × 10−6/K @ 273 K,7.8 × 10−6/K @ 373 K,8.3 × 10−6/K @ 473 K

典型应用:CO2激光系统、热成像、前视红外、天文学、医学

制造的产品:透镜、非球面透镜、二元(衍射)透镜、窗口、分束器、滤光器和棱镜

表面光洁度:红外区表面质量的典型规格是近红外区和低红外区40-20或60-40的划痕,低红外区60-40、80-50或120-80的划痕。典型的是100 Å均方根或更高的金刚石表面光洁度

表面图形:在近红外和红外光谱中,典型的所需表面形状范围为1/4至2波@0.6328μm

AR涂层选项:典型的可用涂层包括用于MWIR和LWIR的DLC,用于0.8至2.5、3至5、1至5、8至12和3至12μm光谱区域的BBAR;单波长涂层AR为10.6μm。0.6至16μm的许多其他专用波段也是可能的

硫化锌,透明级

传输范围:0.4 to 12 μm

折射率:2.350 @ 0.63 μm,2.289 @ 1.06 μm,2.252 @ 4 μm,2.200 @ 10 μm

dn/dT:(avg. @ 298 to 358 K)54.3 × 10−6/K @ 0.6328 μm,42.1 × 10−6/K @ 1.15 μm,38.5 × 10−6/K @ 3.39 μm

密度:4.09 g/cm3

硬度(Knoop):160 kg/mm2

断裂模量:8704 psi

热膨胀系数:6.3 × 10−6/K @ 273 K,7.0 × 10−6/K @ 373 K,7.5 × 10−6/K @ 473 K

典型应用:可见光成像、热成像前视红外、天文学

制造的产品:透镜、非球面透镜、二元(衍射)透镜、窗口、分束器、滤光器和棱镜

表面光洁度:表面质量的典型规格是0.4至3μm光谱区域的40-20划痕,3至12μm光谱范围的60-40或80-50划痕。金刚石车削表面粗糙度通常为100Årms或更高

表面图形:在可见光和近红外光谱区域,指定的表面形状范围为1/10至1/2波@0.6328μm。在红外光谱中,典型的所需表面形状范围为1/2至2个波@0.6328μm

AR涂层选项:典型的可用涂层包括用于0.8至2.5、3至5和8至12μm波段的BBAR。其他特殊波段可能在0.4至12μm之间

硫化锌(ZnS),普通级

传输范围:3 to 12 μm

折射率:2.252 @ 4 μm,2.200 @ 10 μm

dn/dT:(avg. @ 298 to 358 K)46 × 10−6/K @ 1.15 μm,43 × 10−6/K @ 3.39 μm,41 × 10−6/K @ 10.6 μm

密度:4.09 g/cm3

硬度(Knoop):200 kg/mm2

断裂模量:14943 psi

热膨胀系数:6.6 × 10−6/K @ 273 K,7.3 × 10−6/K @ 373 K,7.7 × 10−6/K @ 473 K

典型应用:热成像,前视红外

制造的产品:透镜、非球面透镜、窗口、圆顶、楔形物和棱镜

表面光洁度:3至12μm光谱范围内表面质量的典型规格为60-40、80-50或120-80划痕

表面图形:在红外光谱中,典型的表面形状为0.6328μm处1/4至2个波

AR涂层选项:为ZnS常规指定的最典型的可用涂层是8至12μm区域的BBAR。它也可以是硬碳或类金刚石碳涂层

参考

Handbook of Optics, Second Edition, McGraw Hill, Inc. 1995.
The Infrared Handbook, Revised Edition, William L. Wolfe & George J. Zissis, ERIM 1985.
Commercially available data.

注释

术语表

纵横比:直径与厚度之比。具有高纵横比的光学元件难以实现严格的表面形状规格,而且更昂贵

BBAR:宽带抗反射光学涂层

C:摄氏度

CVD:化学气相沉积

dn/dT:热光系数,即材料折射率随每度开尔文温度的变化

DLC:钻石状碳涂层

DT:金刚石车削

色散:折射率随波长的变化

FIR:远红外

FLIR: 前视红外

IR:红外

K:开尔文

MRF:磁流变精加工

MWIR:3至5μm光谱带的中波红外区域

NIR:0.75至3μm光谱带的近红外区域

LWIR:5至14μm光谱带的长波红外区域

划痕:适用于抛光过程的表面处理规范,其中“划痕”是指抛光表面允许的划痕宽度,以微米为单位。“凹坑”是抛光表面由于抛光过程而产生的缺陷,指的是缺陷的最大允许直径,以微米为单位。刨痕规范也通常适用于可见透明材料内的夹杂物或杂质,以及涂层缺陷。然而,金刚石车削的表面光洁度用埃的均方根(Å rms)来表示,而不是用划痕-刨痕来表示,因为单点金刚石车削过程不会产生抛光过程中产生的随机划痕和刨痕

SPDT单点金刚石车削

表面形状:通常指表面的不规则性,通常以测试波长下的条纹或波表示。在光学设计中,当指定与材料、使用波长、直径、纵横比和透镜几何形状相关的表面形状时,应仔细考虑

uv:就本讨论而言,波长为0.1至0.4μm(紫外线区域实际上下降到0.001μm)

VIS:0.4至0.75μm光谱带的可见光区域