One-XY 中行程集成 XY 线性平移台

ONE-XY 在薄型设计集成了 X 轴和 Y 轴、定位精度、平坦度、平直度、刚度、MIM 和可重复性。

• 集成 XY 平台，内部采用正交设计
• 平面度极佳，平直度和平整度达微米级
• 薄型三板设计，可减少堆叠误差并提高刚度
• 高效、非齿槽线性电机
• 线性编码器，可实现纳米级 MIM 和重复性