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圆筒/平板/磁浮/水冷音圈电机

音圈电机(Voice Coil Motor)是一种基于洛伦兹原理的直线电机,具有简单结构,体积小,加速度高和响应快等特点,广泛应用于精密定位系统中,在半导体制造装配、高端数控机床和光学电子显微镜等行业得到广泛应用,同时在医疗、振动平台和主动减振系统等运动系统中也运用。

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圆筒音圈电机

音圈特性
  • 结构简单、体积小;
  • 易实现高速、高加速度;
  • 推力大,响应时间快;
  • 闭环控制定位精度可达到纳米级别。


平板音圈电机

UVCM 音圈电机特性
  • 结构简单、体积小;
  • 易实现高速、高加速度;
  • 推力大,响应时间快;
  • 闭环控制定位精度可达到纳米级别。

MVCM磁浮音圈电机

MVCM 音圈电机采用组合设计方法,将无源磁悬浮技术集成在音圈电机结构中,简单结构,体积小,进行垂向重力补偿,实现垂向大负载运动,重力补偿力可根据客户负载情况进行定制化设计,补偿力范围比较广。可广泛应用于医疗领域、半导体设备中的垂向运动模块。

MVCM 磁浮音圈电机特性

  • 结构简单、体积小;
  • 采用动磁结构,无移动线缆;
  • 垂向磁悬浮重力补偿,减小电机发热;
  • 适用于真空环境;
  • 可选线圈水冷,实现更高连续力和峰值力;
  • 闭环控制定位精度可达到纳米级别。


WVCM 水冷音圈电机

WVCM 音圈电机特性
  • 市场独有技术;
  • 采用薄水冷板,具有高冷却效率、高可靠性和寿命;
  • 极的推力密度,低的表面温升,实现更高连续力和峰值力;
  • 适用于真空环境。