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半导体设备方案

多轴精密气浮运动台用于精密测量,它是集制造、自动控制、电子、光学、图形图像及计算机技术为一体的综合性交叉学科,与精密加工紧密联系在一起。二次元影像测量仪适用于工件二维平面检测,三坐标测量机主要用于被测工件的三维立体的测量。由于空间测量时三坐标测量机应用受限,我司研发制造的多轴精密气浮运动平台用于精密测量系统中。

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结构阐述
一维轴采用闭式气浮导轨导向,垂直采用真空预载,直线电机驱动和光栅尺闭环反馈,二维轴采用龙门气浮导轨导向,双直线电机驱动和双光栅尺闭环反馈。


线缆管理
线缆管理对精度和性能有影响,选择进口无尘线缆,优化管线弯曲半径,防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能,减少停机时间。无尘线缆相对于普通的坦克链,更适用于无尘洁净室。


密封罩设计
龙门轴密封罩设计,带自清扫功能(设计不影响精度性能),防止异物进入气浮导轨内部。防止误操作出现人为伤害。

大理石基座设计
采用济南大理石做龙门基座及桥架,第七阶(前六阶为刚体模态,第七阶为柔性模态)模态为300Hz,想要在此基础上进行改进,提高模态,则模态变为407Hz。


气浮隔振台
考虑到振动对性能的影响,建议加气浮隔振。

控制方案
在精密运动控制行业性能及精度有保证,可根据用户的使用习惯配置控制方案。