DynamYX® RS 分划板定位空气轴承平移台

DynamYX RS 分划板定位平移台用于分划板检测和修复应用。它具备陶瓷分划板支架，此支架安装在单个平面空气轴承托架上。悬臂式基板在安装时应远离平移台的所有移动元件，这样可确保提供尽可能干净的环境。

• 适用标线检查和维修应用
• 加速度：0.25G X 和 Y 轴
• 速度：250mm/秒
• 重复精度：±25nm
• 精度：0.5Âμm
• 行程范围：290mm×155mm