SinguLYS™ Single Axis Air Bearing Stages

单轴空气轴承平移台

• 陶瓷 (SiC) 结构，质量轻、刚度高、热稳定性高
• 集成的压力-真空空气轴承和线性电机驱动器，适用于清理操作
• 封装紧凑，具有自支撑式主体并采用三点安装
• 标准 Zerodur 线性编码器的精度非常高且具有可重复性（钢规格可选）