平台概要
交叉十字XY 台采用集成式、正交性设计，具有紧凑扁平的轮廓尺寸。能实现水平向X/Y 轴2 自由度的直线运动。可应用于半导体、平板显示、光纤对准、生物医药等领域。技术参数
定制信息
交叉十字XY 台可选项：在Cross-Series XY Stage 产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括行程、编码器、高精度标定等选项。
行程选项
-200 200mm 行程位移平台，配置直线电机和限位
-320 320mm 行程位移平台，配置直线电机和限位
-450 450mm 行程位移平台，配置直线电机和限位
编码器选项
-E1 增量式模拟光学式线性编码器，1Vpp
-E2 增量式数字光学式线性编码器，RS422
-E3 绝对式光学式线性编码器，BISS
高精度标定选项
-PLUS 高精标定：产品生产结束，出厂前对平台进行干涉仪标定
