磁悬浮垂向与旋转台

该系列产品包含扁平ZT 台（MZT-10 Stage）、大行程ZT 台（MZT-25 Stage）、高性能ZT 台（MZT-24-CRG Stage）

类别	描述
扁平ZT 台（MZT-10 Stage）	平台特性旋转运动双轴导向设计垂向精密导向X3 设计负载大、抗偏心能力高内置大行程磁浮重力补偿高质量的Z 轴抖动及运动和稳定性能闭环伺服设计平台概要扁平ZT 台采用旋转运动平台和垂向运动在轴向进行耦合的设计，具有紧凑扁平的轮廓尺寸。能实现Rz/Z 轴2 自由度的旋转，和MZT-25 Stage 相比，成本更低。可应用于晶圆生产控制应用，例如薄膜计量等。
大行程ZT 台（MZT-25 Stage）	平台特性旋转运动双轴导向设计垂向精密导向X4 设计负载大、抗偏心能力高内置大行程磁浮重力补偿高质量的Z 轴抖动及运动和稳定性能闭环伺服设计平台概要大行程ZT 台采用旋转运动平台和垂向运动在轴向进行耦合的设计，具有紧凑扁平的轮廓尺寸。能实现Rz/Z 轴2 自由度的旋转。和MZT-10 Stage 相比，垂向刚度更高，负载和抗偏心能力更大。可应用于晶圆生产控制应用，例如薄膜计量等。
高性能ZT 台（MZT-24-CRG Stage）	平台特性旋转运动双轴导向设计垂向交叉滚柱导轨设计内置大行程磁浮重力补偿良好的Z 轴抖动及运动稳定性能闭环伺服设计平台概要高性能ZT 台采用旋转运动平台和垂向运动在轴向进行耦合的设计，具有紧凑扁平的轮廓尺寸。能实现Rz/Z 轴2 自由度的旋转。和MZT-24 Stage 相比，垂向性能更高。可应用于晶圆生产控制应用，例如薄膜计量等。