多轴微动台（MZ3T Stage）

该系列产品包含：双Z 轴多轴微动台（Z3T-Dz Stage）、单Z 轴多轴微动台（Z3T-Sz Stage）

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类别

描述

双Z 轴多轴微动台（Z3T-Dz Stage）

平台特性

364°旋转运动
±0.2°以上的tip 和tilt 精密调整
双Z 轴设计：晶圆交接用的Coarse Z 轴以及精密调焦用的Fine Z 轴
内磁浮重力补偿
轴向和径向跳动，仅±1.25 μm

平台概要
双Z 轴多轴微动台拥有4 个自由度，提供364°的旋转角，双Z 轴，其中一个用于圆晶装件与卸件的粗大调整，一个用于调焦的精密调整，以及±0.2°以上的tip 和tilt 修正。该Z3T-Dz 模块为运动提供良好的跟随误差控制性能，其重复精度、运动和稳定时间性能均支持大行程运动。Z3T-Dz 模块主要用于前道应用，优先于光刻后段和圆晶生产控制。

单Z 轴多轴微动台（Z3T-Sz Stage）

平台特性

旋转运动
±0.2°以上的tip 和tilt 精密调整
内置磁浮重力补偿
轴向和径向跳动，仅±1.25 μm

平台概要
单Z 轴多轴微动台拥有四个各自独立的自由度，包括一个旋转轴、一个垂直轴和两个摇摆和倾斜修正轴。该Z3T-Sz 模块结构紧凑，且具备定位精度和动态特性，满足半导体晶圆制造和检测过程中对晶圆载台运动性能的需求。Z3T-Sz 的出现不仅为用户提高运动系统精度，简化设计难度，还能提升设备的可靠性和集成度，降低设备的复杂性。