磁浮多轴运动台（Maglev Multi-axis Stage）

平台特性
 集成式3 轴平台，正交性设计
 平面度、直线度达微米级

X 轴

 防蠕变交叉滚柱导轨
 无线缆扰动力设计

Z 轴

 垂向磁悬浮重力补偿，可实现较高的定位精度
 垂向增量光栅，最高可实现5 纳米分辨率
 薄型、轻量化设计
 垂向最大可支持30mm 行程

Rz 轴

 360 旋转，无管路缠绕，支持12’、8’晶圆真空吸附
 支持最大±0.7mm 翘曲晶圆

 最大支持转速240rpm

控制系统
 ACS 4 轴驱动器，支持PEG、STO 功能
 ACS 控制器

平台概要

磁浮多轴运动台采用薄型、正交性设计理念。能实现X、Z 和Rz 轴3 自由度的直线和旋转运动。其中垂向采用磁浮重力补偿技术，降低垂向电机的载荷，提高垂向运动性能和寿命的功能。可应用于晶圆生产控制应用，例如薄膜计量等。

技术参数

定制信息
磁浮多轴运动台可选项：在Maglev Multi-axis Stage 产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括编码器、高精度标定、控制系统等选项。

编码器选项
-E1 增量式模拟光学式线性编码器，1Vpp
-E2 增量式数字光学式线性编码器，TTL
-E3 绝对式光学式线性编码器，BISS

高精度标定选项

-PLUS 高精标定：产品生产结束，出厂前对平台进行干涉仪标定

控制系统选项

-PEG ACS 4 轴驱动器，可选配支持PEG 等功能
-STO ACS 4 轴驱动器，可选配支持STO 等功能
-VCL ACS 4 轴驱动器，可选配支持自动对焦等功能