纳米级定位精度垂直运动Z向平台

V-305 系列是纳米级定位精度的垂直运动Z 向平台，具备非常优秀的动态性能和定位精度，主要应用于半导体领域的光刻、检测和封装、外形轮廓测量、生物医疗领域的基因测序等，可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。

高精度直驱升降台
快速响应（截止频率大于120Hz）
超薄尺寸，适用于紧凑空间
标配辅助承载气缸，实现大负载快响应
分辨率1nm，重复定位精度优于±100nm
定位精度优于±200nm
在位稳定性优于5nm（带被动隔振实验室环境）

产品与应用描述
V-305 系列是纳米级定位精度的垂直运动Z 向平台，直线电机驱动，采用交叉滚柱导轨，具备优秀的动态性能和定位精度，空载截止频率可达200Hz 以上。
V-305 升降台是系列运动平台的有效补充，可以与R-301 或者平面气浮组成多轴系统来满足客户应用。在一些高端半导体应用案例中，对整体运动系统有苛刻的精度和几何性能要求，该系列可以为这类应用提供整体解决方案。V-305 平台侧向高度低，阿贝误差小且节省空间，内置气动平衡装置最大承载15kg负载，可以同时满足重负载，高精度和低侧面的要求。

V-305 升降台结构紧凑小巧，但是有较高的定位精度，配置线性放大器，带隔振实验室环境下，V-305升降台的在位稳定性和最小步进量可以小于5nm，主要应用于半导体领域的光刻、检测和封装、外形轮廓测量、生物医疗领域的基因测序等，可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。