光学平台系统由光学台面和匹配的平台支撑腿组成。
Newport提供刚性腿或隔振腿,以及多种级别的台面振动阻尼供选择。
还提供各种配件完善光学平台系统。
Integrity VCS 是入门级平台系统,
SmartTable OTS 则功能更多、性能更好。
类别 |
描述 |
带气动隔离功能的主动和调谐阻尼SmartTable ®光学平台 |
SmartTable ® OTS™SST光学平台系统采用了SST系列混合SmartTable光学平台,配有两个IQ主动阻尼器和两个精确调谐的被动阻尼器。气动隔离平台配备集成的调平脚和脚轮以及多种可选配件。
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带气动隔离功能的主动阻尼SmartTable ®光学平台 |
SmartTable ST光学平台配备有两个IQ主动阻尼器和一个气动隔离平台,带有集成式水平脚和脚轮以及各种可选配件。
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带气动隔离功能的可升级阻尼可调SmartTable ®光学平台 |
SmartTable ST-UT2光学平台配有两个精密调谐的被动阻尼器,按需求安装两个IQ主动阻尼器,升级到混合SmartTable®OTS™SST性能。
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