SEM-Base® VI是主动压电消振产品。SEM-Base VI被设计用于支撑商用扫描电子显微镜（SEM）以及许多聚焦离子束（FIB）和小型双光束仪器。SEM-Base VI具有不错的隔振性能、控制器和图形用户界面（GUI）。
SEM-Base VI采用“串行结构”，其中的振动传感器测量地面振动，而不是有效载荷振动。可以让有效载荷共振不会限制隔振或造成不稳定。振动传感器是低频惯性速度传感器，结合压电致动器技术，SEM-Base VI在安静的地面上也能实现良好的消振水平。
TMC的控制器DC-2020采用了双核处理器，有简单易用的图形界面，可完成系统评估和安全操作。通过以太网连接时，DC-2020将在用户的浏览器中创建SEM-Base GUI，无需安装其他软件或应用程序。此外，用户也可以通过板载菜单驱动的液晶显示器（LCD）与控制器连接。
硬安装技术- SEM-Base VI与内部SEM振动控制系统兼容，可以从0.6 Hz开始主动减轻低频地面振动。
主动惯性振动消除- SEM-Base VI使用高灵敏度、低频惯性速度传感器，即使在安静的地面上也能振动衰减。
采用压电技术的串行设计- 串行设计和高力压电技术可实现0.6 Hz至150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90％的惯性主动振动消除性能。
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主动自由度 |
6 |
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主动带宽 |
0.6 Hz - 100 Hz |
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被动固有频率 |
标称值为12 Hz |
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有效的主动共振频率 |
0.5 Hz |
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1 Hz时的隔振 |
40% - 70% |
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2 Hz时的隔振 |
90% |
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≥3 Hz时的隔振 |
90 - 98% |
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内部噪音 |
<0.1 nm RMSd> |
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工作负载范围 |
标准承重能力：900
- 2,500磅（408 -
1134千克） |
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磁场发射 |
<0.02 μG broadband RMSd> |
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环境和安全 |
符合CE和RoHS标准 |
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主动隔振元件 |
最小承重能力为3300磅（1500千克）的压电致动器接收来自高压放大器的信号，其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷 |
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被动隔振元件 |
单个硬弹性体（无需压缩空气源） |
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振动传感器元件 |
向下的地震检波器型惯性传感器，用于 |
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主动反馈控制回路 |
在支撑隔振表面的弹簧 |
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尺寸（宽x深） |
35.25
x 44.25英寸 |
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高度 |
标称6.3英寸（160毫米）， |
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工作温度 |
50° -
90° F |
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储存温度 |
-40°
- 130° F |
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湿度 |
80% at 20o C, Max dewpoint: 18o C |
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系统电源要求 |
100、120、230、240 VAC |
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地面位移 |
<800 μin. (20 μm) below 10 Hzd> |
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处理器 |
150/75 MHz双核 |
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采样率 |
10 kHz |
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模拟输出 |
16个通道 |
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模拟输入 |
16个通道 |
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状态灯 |
单个LED |
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前面板端口 |
1个串行USB 2.0 |
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用户界面 |
前面板液晶显示屏 |
使用VC-C（500μ英寸/秒，12.5μ米/秒RMS）的模拟振动来测试1800磅（818千克）有效载荷
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https://www.techmfg.cn/products/stacis/sem-base
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