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TMC STACIS III - 主动压电消振系统

    概述-               


STACIS® III是一种灵活的主动隔振系统。STACIS采用先惯性振动传感器、控制算法和压电致动器,通过连续测量地面活动,然后扩展和收缩压电致动器来过滤地面运动,以实时消除振动。

STACIS最初设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备,现已成为嘈杂环境(包括但不限于半导体工厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施和材料研究中心)中敏感仪器的行业解决方案。

STACIS III包括一个改进型数字控制器DC-2020。这款控制系统在前后面板上采用了双核处理器、以太网以及USB串行端口,为用户提供了现代化且易于使用的图形用户界面(GUI)。STACIS在全球已拥有数百个成功的安装案例,适用于对振动敏感的仪器。 

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    STACIS III的优势-    


STACIS比空气隔振器硬,没有空气隔振系统的局限性。它没有“软”悬架,与主动空气系统不同,STACIS可以放置在带有内部主动空气隔振系统的工具下方,使两个系统都在好的状态下运行。

串行设计和高力压电技术 
可实现0.6 Hz至150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90%的主动隔振性能。

    性能    

使用VC-C(500μ英寸/秒,12.5μ米/秒RMS)的模拟振动来测试4500磅(2045千克)有效载荷


    规格    

性能规格

主动自由度

6

主动带宽

0.6 Hz - 150 Hz

被动固有频率

18 Hz垂直和水平

有效的主动共振频率

0.5 Hz

1 Hz时的隔振

40% - 70%

≥2 Hz时的隔振

≥90%

10磅(4.5千克)步进输入后的稳定时间(减少10:1)

0.3秒

内部噪音

<0.1 nm RMSd>

每个隔振器的工作负载范围

低承重能力:400 - 1100磅(182 - 500千克)
中等承重能力:900 - 2100磅(410 - 955千克)
高承重能力:1900 - 4500磅(864 - 2045千克)

刚度(1000磅/ 454千克质量、中等承重能力隔振器)

40,000磅/英寸(73 x 105牛/米)

从距离隔振器最大4英寸(102毫米)处发射的磁场

<0.02 μG broadband RMSd>


隔振器设计、尺寸、环境和效用要求

环境和安全

符合CE和RoHS标准

主动隔振元件

最小承重能力为3300磅(1500千克)的压电致动器接收来自高压放大器的信号,其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷

被动隔振元件

单个硬质各向同性弹性体(无需压缩空气源)

振动传感器元件

向下的地震检波器型惯性传感器,用于测量隔振器下方的地面振动,并提供与振动运动速度成正比的电压

主动反馈控制回路

在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和衰减地面振动

隔振器尺寸(宽x深x高)

11.75 x 12.5 x 10.8英寸
300 x 320 x 275 mm

隔振器重量

75磅(34千克)

工作温度

50° - 90° F
10° - 32° C

储存温度

-40° - 130° F
-40° - 55° C

湿度

80% at 20o C, Max dewpoint: 18o C

系统电源要求

100、120、230、240 VAC
50/60 Hz AC;<600 W
符合CE标准

地面位移

<480 μin. (12 μm) below 10 Hzd>

每个系统的隔振器数量

至少3个

可选附件

层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、提升罩


DC-2020控制器规格

尺寸(宽x深x高)

19 x 8.5 x 1.75英寸
483 x 216 x 45 mm

重量

6.3磅(2.9千克)

处理器

150/75 MHz双核

采样率

10 kHz

模拟输出

16个通道

模拟输入

16个通道

状态灯

单个LED

前面板端口

1个串行USB 2.0
1个串行Micro-USB
1个以太网RJ-45
2个BNC

后面板端口

1个串行USB 2.0
1个以太网RJ-45
1个RS-232 DB-9传统串行,用于传统的STACIS 2100隔振器

用户界面

前面板液晶显示屏
终端上的字符菜单
适用于Microsoft Windows的扩展GUI
嵌入式以太网GUI


    应用说明    

https://www.techmfg.cn/products/stacis/stacisiii


    应用照片