SW系列晶圆对准/键合/解键合设备

Newport HXP 系列六足位移台

PI 六轴小型六足位移台

高精度连续旋转直驱转台

纳米级定位精度垂直运动Z向平台

堆叠式多轴系统（Stacked System）

复合式二维平台（Planar Platform）

磁浮多轴运动台（Maglev Multi-axis Stage）

多轴微动台（MZ3T Stage）

磁悬浮垂向与旋转台

二维精密转台（Gimbal Stage）

平面式运动台（Planar-Series XY Stage）

交叉十字XY 台（Cross-Series XY Stage）

垂向台（Lift and Z Stage）

单轴直线运动台

一维转台（Rz Stage）

SinguLYS™ Single Axis Air Bearing Stages

HybrYX™ G5 大型基板定位空气轴承平移台

HybrYX™ XY 混合空气轴承 XY 平移台

DynamYX® RS 分划板定位空气轴承平移台

DynamYX® 300 晶片定位空气轴承平移台

DynamYX® GT 空气轴承平移台

DynamYX® DATUM® 超高性能空气轴承平移台

智能直驱传输系统（IDTS）

光学测量方案

半导体设备方案

运动模组

直线电机

圆筒/平板/磁浮/水冷音圈电机

带有无刷电机的 IDL-BL 中行程工业线性平移台